FIB-SEM | DB550
Microscop electronic cu scanare cu emisaie de câmp cu fascicul de ioni focalizat Ga+
Microscopul electronic cu fascicul de ioni focalizat CIQTEK DB550 (FIB-SEM) are o coloană cu fascicul de ioni focalizat pentru nano-analiză și pregătirea specimenelor. Utilizează tehnologia optică electronică „super tunel”, designul obiectivului cu aberații reduse și nemagnetic și are funcția de „tensiune joasă, rezoluție înaltă” pentru a-și asigura capacitățile analitice la nanoscală.
Coloanele de ioni facilitează o sursă de ioni metalici lichidi Ga+ cu fascicule de ioni de înaltă stabilitate și calitate pentru a asigura capacități de nanofabricare. DB550 este o stație de lucru multifuncțională pentru nano-analiză și fabricare, cu nano-manipulator integrat, sistem de injecție de gaz și software GUI ușor de utilizat.
Tehnologia optică electronică „SuperTunnel”
Fascicul de ioni de galiu
Extensibilitate excelentă
Sistem integrat de injecție a gazelor
Nano-manipulator integrat
Încuietoare de încărcare pentru schimb de probe
(compatibilă cu 8 inci)
1. Tehnologia coloanei optice electronice „Super Tunel ” /decelerarea fasciculului în coloană
Reduce efectul de încărcare spațială, asigurând performanțe de rezoluție scăzută a tensiunii.
2. Fără încrucișare pe calea fasciculului de electroni
Reduce eficient aberațiile lentilelor și îmbunătățește rezoluția.
3. Lentilă obiectiv compusă electromagnetică și electrostatică
Reduce aberațiile, îmbunătățește semnificativ rezoluția la tensiuni joase și permite observarea probelor magnetice.
4. Lentilă obiectiv cu temperatură constantă răcită cu apă
Asigurați stabilitatea, fiabilitatea și repetabilitatea performanței lentilei obiectivului.
5. Sistem de comutare cu apertură variabilă cu mai multe găuri prin deflecție electromagnetică a fasciculului
Comutarea automată între diafragme fără mișcare mecanică permite comutarea rapidă între diverse moduri de fotografiere.
| Specificații CIQTEK FIB-SEM DB550 | ||
| Optică electronică | Tipul tunului electronic | Tun de electroni cu emisie de câmp Schottky de înaltă luminozitate |
| Rezoluţie | 0,9 nm la 15 kV; 1,6 nm la 1 kV | |
| Tensiune de accelerare | 0,02 kV până la 30 kV | |
| Sistem cu fascicul de ioni | Tipul sursei de ioni | Galiu |
| Rezoluţie | 3 nm la 30 kV | |
| Tensiune de accelerare | 0,5 kV până la 30 kV | |
| Camera de specimene | Sistem de vid | Sistem de vid complet automat, fără ulei |
| Camere | Trei camere (Navigație optică x1 + monitor cameră x2) | |
| Tipul de scenă | Platformă mecanică eucentrică pentru specimene motorizată pe 5 axe | |
| Gama de scenă | X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm Temperatura: -10°~+70°, R: 360° | |
| Detectoare SEM și extensii | Standard | Detector de electroni în lentilă Detector Everhart-Thornley (ETD) |
| Opțional | Detector retractabil de electroni împrăștiați înapoi (BSED) Detector retractabil de microscopie electronică cu transmisie și scanare (STEM) Spectrometru de dispersie a energiei (EDS/EDX) Model de difracție prin retrodifuzie electronică (EBSD) Nano-manipulator Sistem de injecție a gazelor Curățător cu plasmă Loadlock pentru schimbul de specimene Panou de control pentru trackball și butoane | |
| Interfață utilizator | Limbi | Engleză |
| Sistem de operare | Ferestre | |
| Navigare | Navigare optică, navigare rapidă prin gesturi | |
| Funcții automate | Luminozitate și contrast automate, Focalizare automată, Stigmator automat | |